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第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题
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('800nm制程工艺的专利技术对于gca来说如同鸡肋,但对于bsec如同神助,掌握后就能跨越1um制程工艺,掌握800nm制程工艺技术。

拥有了193nm的arfi准分子激光器的制造技术和800nm制程工艺的专利技术,但bsec还不能生产自主知识产权的1um制程工艺的光刻机。

为了将来不被

《我的一九八五》第一一一八章浸没式光刻系统遇到难题

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